ターゲット膜の**反射率を測定し、膜厚と光学定数を高精度に測定！非接触・非破壊・顕微

測定時間はわずか1秒！

顕微分光膜厚計（OPTMシリーズ）は顕微分光法を用いて微小領域における**反射率による測定を行い、高精度の膜厚/光学定数分析を行うことができる。塗膜の厚さは、種々の膜、ウエハ、光学材料、多層膜などの非破壊的かつ非接触的に測定される。測定時間は、1秒/点の高速測定が可能であり、初めて使用するユーザでも光学定数を容易に解析できるソフトウェアを搭載している

製品特徴：

• ヘッドにはフィルム厚さ測定に必要な機能が集積されている

• 顕微分光法による高精度**反射率（多層膜厚、光学定数）の測定

• 1時1秒高速測定

• 顕微分光下の広範囲の光学系（紫外＊近赤外）

• エリアセンサの安全機構

• 解析ウィザードが容易で、初心者でも光学定数解析が可能

• 独立測定ヘッドは各種inlineカスタム化ニーズに対応

• さまざまなカスタマイズをサポート

測定項目：

• **反射率測定

• 多層膜解析

• 光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）

適用：

• 半導体：ウエハサンプルの自動調整、ウエハの曲げ検出

• 光学部品：レンズレンズレンズの放射率、曲げ等の検出

製品仕様型番：